软光刻的网络释义
软光刻是指各种使用软印模来进行图形光刻的工艺技术合集,这些工艺技术包括微接触印刷(μCP)、纳米压印光刻(NIL)、模塑成型(REM)、微转移成型(μTM)、毛细管微成型(MIMIC)、以及溶剂辅助微成型(SAMIM)等。 软光刻技术使得纳米尺度三维结构的制造称为可能。
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