【离子束清洗】的繁体字： 離子束清洗
【离子束清洗】的读音为 lí zǐ shù qīng xǐ，无声调拼音为 li zi shu qing xi，简拼为 LZSQX
【离子束清洗】的笔画分别为10画、3画、7画、11画、9画，部首分别为亠部、子部、木部、氵部、氵部。
【分字繁体字】离的繁体字 子的繁体字 束的繁体字 清的繁体字 洗的繁体字
离子束清洗（ion beam cleaning）把离子束抛光的原理应用于清洗晶片表面，称为离子束清洗。与其他清洗方法相比，离子束清洗具有无沾污、表面结构完整、无微坑等优点。
