防护环的网络释义
:一种用于淀积机台的防护环。当晶片配置于淀积机台上,且防护环配置于晶片周围时,防护环邻近晶片的顶面不低于晶片顶面。此外,当晶片配置于淀积机台上,且防护环配置于晶片周围时,防护环与晶片之间的间距小于0.7毫米。本发明的防护环可使得薄膜在晶片侧壁不会形成侧边淀积的现象,因此可提高薄膜淀积工艺的平坦度与良率。
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