洁净隧道的繁体字

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【洁净隧道】的繁体字：潔凈隧道

【洁净隧道】的读音为 jié jìng suì dào，无声调拼音为 jie jing sui dao，简拼为 JJSD

【洁净隧道】的笔画分别为9画、8画、14画、12画，部首分别为氵部、冫部、阝部、辶部。

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洁净隧道的网络释义

以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。　　洁净隧道另有二项优点：　　A.弹性扩充容易；　　B.维修设备时可在维修区轻易执行。

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