帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称。它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质,可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性,无微孔无缺陷,化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂,产出的薄膜很纯净,释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料:C型、D型和N型,帕利灵C透水性和透气性比其他两种小很多,应用最广泛。帕利灵C在温度300K时太赫兹频段的折射率大约为1.62,4.5K时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵C的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口...